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Substrat en céramique de nitrure d'aluminium (AlN)
Le substrat céramique AlN est une nouvelle génération de substrat céramique haute performance, avec une conductivité thermique élevée (la valeur théorique est de 319W/mK, la conductivité thermique du substrat AlN commercial est supérieure à 140W/mk), une faible constante diélectrique (8,8) et une perte diélectrique (~ 4×104), et coefficient de dilatation thermique (4,4×10-4/℃) assortis au silicium, composition chimique AI 65,81 % , N 34,19 % , densité 3,261g/cm3 , blanc ou blanc cassé, incolore et transparent monocristal, la température de décomposition par sublimation sous pression normale est de 2450℃ .
Substrat en céramique de nitrure d'aluminium, conductivité thermique élevée, bonnes performances électriques, coefficient de dilatation thermique proche de celui de la plaquette Si, haute résistance, résistance à haute température, résistance à la corrosion chimique, résistivité élevée, faible perte diélectrique, non-toxicité, c'est un substitut de Céramique BeO Le matériau idéal est un substrat de dissipation thermique idéal pour les circuits intégrés à grande échelle et un matériau d'emballage.
Principalement appliqué: circuits hybrides haute densité, dispositifs d'alimentation micro-ondes, dispositifs électroniques de puissance, composants optoélectroniques, semi-conducteurs et autres produits en matériau de substrat de réfrigération haute performance et matériau d'encapsulation, largement utilisé dans les dispositifs de communication, la LED de haute luminosité, puissance l'électronique et d'autres industries.
Principaux indices de performance de AIN ( nitrure d'aluminium) substrat céramique | |
Contenu de la performance | Performance |
Densité apparente (g/cm3) | 3.335 |
Résistance aux chocs thermiques | Pas de fissures, éclats |
Conductivité thermique (30℃, W/mk) | ≥170 |
Coefficient de dilatation (/℃, 5℃/min, 20-300℃) | 2.805×10-6 |
Résistance à la flexion (MPa) | 382,7 |
Résistivité volumique (Ω.cm) | 1.4×1014 |
Constante diélectrique (1MHz) | 8.56 |
Stabilité chimique (mg/cm2) | 0,97 |
Résistance à la rupture (KV/mm) | 18h45 |
Rugosité de surface (μm) | 0.3~0.5 |
Déformation (longueur‰) | ≤2‰ |
Couleur extérieure | Dense, grain fin / gris foncé |